非接触微細形状測定機（白色干渉計）による測定

試験内容

• 白色光の干渉を利用して表面性状（表面の凹凸・粗さ・傷等）を非接触で測定することができる装置（白色干渉計）を使用して、三次元の表面性状を取得します。
  1. 三次元粗さ（面粗さ）パラメータ（Sa, Szなど）・二次元粗さ（線粗さ）パラメータ（Ra, Rzなど）の算出が可能です。
  2. 傷の深さ・段差量の測定などが可能です。
  3. 顕微鏡観察では一般的に上下方向（Z方向）の情報は得られませんが、本装置を使用すればその情報を得ることができます。

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• 透明多層膜の膜厚計測が可能です。クリア塗装の塗膜計測の実績もあります。

1. 光を通さない層（めっき厚など）は計測できません。
2. 界面の屈折率差によって層と層の界面を認識するため、同種材の層厚計測は難しいものとなっています。例えば、透明クリア塗装2層間の層厚測定は、2層間の密着性が良好な場合には屈折率差が見られず分からないということがあります。
3. 検出できる厚さは数μm程度～となります。

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• 当センターには、ポイントオートフォーカス式の非接触三次元測定機、焦点移動法の全焦点三次元形状測定機（北部研究所）という類似機器があります。凹凸の大きいサンプルや急峻面を持つサンプルの測定の場合は、これらの類似機器の方が測定に適しています。（類似機器では膜厚計測はできません。）

仕様

【カメラ画素】1,024×1,024画素
【鏡筒（ズームレンズ）】0.5倍（1倍の時の視野を4倍の視野に拡大します）
【垂直分解能（Sq分解能）】0.1 nm
【対物レンズと測定視野（1視野）】

• 2.5倍：4,505μm×4,505μm
• 5倍：2,252μm×2,252μm
• 10倍：1,126μm×1,126μm
• 20倍：563μm×563μm
• 50倍：225μm×225μm

【ステージサイズ】225mm×225mm（試料高さ0～50mmの場合は150mm×150mm）

【最大試料高さ】100mm

【最大積載質量】1kg

【ソフトウェア】計測ソフトウェアVS-Measure、解析ソフトウェアVS-Viewer、TalyMap（旧装置のもの）

【オプション】

• 高傾斜測定

• 層断面解析

主な測定試料

三次元で表面性状を取得したい部分が平らなもの

金属・ガラス・樹脂・ゴム・塗装・フィルム等（金属光沢のあるものや透明体も可能）

キーワード

微細形状、表面性状、粗さ、三次元粗さ、非接触計測、非接触測定、傷深さ、段差量、白色干渉計、膜厚測定

• 試料表面のゴミ・錆・油分等はできるだけ除去してください。（ただし、付着物を観察したい場合には何もしないでください。）
• 対象物の形状によっては、治具をご用意いただくことがあります。
• 大きさや重量、形状等によっては測定できないことがあります。
• 詳細は担当者にご相談ください。

4,180円（1測定を増すごとに1,770円、1測定当たり10ショットまでを増すごとに470円を加える）

【料金体系説明】

• 1試料1測定 4,180円 → サンプルをステージから載せ替えるごとに4,180円が発生します。

• 1測定を増すごとに1,770円 → 同一サンプル内の別箇所を測定する場合に適用します。

• 1測定当たり10ショットまでを増すごとに470円 → 画像連結（スティッチング）測定の際に適用します。