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掲載日：2025年12月18日
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非接触微細形状測定機（白色干渉計）
| 機器番号 | 506 |
|---|---|
| 機器分類 | 精密測定機器 |
| メーカー名 | 株式会社日立ハイテクサイエンス |
| 型番等 | VS1800 |
| 装置概要 |
※ ただし、全焦点三次元形状測定機は透明なものや鏡面加工されたものの測定はできません。
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| 主な仕様 |
【カメラ画素】1,024×1,024画素 【鏡筒（ズームレンズ）】0.5倍（1倍の時の視野を4倍の視野に拡大します） 【垂直分解能（Sq分解能）】0.1 nm
※ 複数視野の測定を連結（スティッチング）することも可能です。 ※ 2.5倍レンズはレボルバに取り付けられないため、付替えが必要です。 ※ レンズ性能の関係で、低倍レンズ1視野よりも高倍レンズ測定を連結（スティッチング）する方がデータ取得率は向上します。 【ステージ】
【ソフトウェア】計測ソフトウェアVS-Measure、解析ソフトウェアVS-Viewer、TalyMap（旧装置のもの） 【オプション】
凹凸の大きいサンプルや急峻面を持つサンプルの測定のデータ取得率が向上します。（ただし、ノイズも生じます。）
透明多層膜の膜厚計測を可能にします。 |
| 研修レベル |
1 研修を受講する必要はありません。利用方法の詳細は担当にご相談ください。
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| 使用料（1時間当たり） | 1,600円 |
| 装置写真 |   |
| 測定事例 |
微細な三次元表面形状を測定することができます。 二次元断面形状の抽出ができます。傷の深さ、付着物の高さなどを測定することも可能です。 二次元・三次元の表面粗さパラメータの算出ができます。
※クリックすると拡大します
基準からの段差量の算出ができます。 層断面解析の機能を使用すれば、層厚を算出することができます。（詳細は備考欄もご確認ください。）
※ クリックすると拡大します |
| 備考 |
※ 光を通さないめっき厚などは測定できません。 ※ 界面の屈折率差によって層と層の界面を認識するため、同種材の層厚計測は難しいものとなっています。例えば、透明クリア塗装2層間の層厚測定は、2層間の密着性が良好な場合には屈折率差が見られず分からないということがあります。 ※ 検出できる厚さは数μm程度～となります。
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本装置に関する お問合せ先 |
048-265-1376（生産技術・事業化支援室 機械技術担当） |
※指導員の指導を受けて機器を利用する場合は、使用料の他に指導料が1時間あたり2,500円かかります。
※一部の機器は、事前に研修を受ける必要があります。詳しくは、研修の受講方法をご覧ください。
※機器の利用時に必要となる一部の消耗品については、使用量に応じて実費精算できます。詳しくは、消耗品精算をご覧ください。