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掲載日：2024年2月27日
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モリブデン箔の毒劇物フリー電解エッチング加工
| 1.概要 | 電解エッチング加工とは加工物を電解液中に浸漬し、電気化学的に金属を溶解することにより孔や溝などの形状を得る方法である。 モリブデンは難加工材で、現在の電解エッチング加工ではクロム酸や硫酸などの毒劇物を含む電解液が使用されている。 これは危険な溶液であり、作業性や洗浄、廃液処理に課題を有する。 これらの課題に対処するため、安全性に優れた電解液の開発を行った。 |
|---|---|
| 2.成果 | 電解液組成の検討により、エチレングリコール（アルコールの一種）と水の比率が1:1で塩化ナトリウムとクエン酸を含む水溶液に効果があることが分かった。 新組成の液は、毒劇物を含まず、従来のものと比べて現場での取り扱いが容易で安全性にも優れる。 この電解液を用いてモリブデン箔に多数の微細貫通孔（メッシュ）を形成することができた。 この技術を用いると電子顕微鏡用アパーチャー（電子ビーム径を調節する部品）などを加工することができる。 |
| 3.連絡先 | 生産技術・事業化支援室 出口 |
| 4.共同開発者 | - |
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