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掲載日:2019年10月1日

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高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

新たに「高分解能電界放出形走査電子顕微鏡」を導入しました。

SAITECでは、新たに「高分解能電界放出形走査電子顕微鏡」を導入し依頼試験の受付を開始いたしました。
【走査型電子顕微鏡による高分解能試験】

  • 10万倍以下 13,300円(1試料1測定)
  • 10万倍をこえるもの 20,200円(1試料1測定)

ぜひ、ご活用ください。

新設備の概要

高分解能電界放出形走査電子顕微鏡

大型X線CT装置

メーカー
  • 高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
    株式会社日立ハイテクノロジーズ
    Regulus8230
  • エネルギー分散型X線分析装置
    製造元:株式会社堀場製作所
    型式:X-Max80(検出器)、EMAX Evolution(ソフトウェア)
装置概要 本装置は、試料表面を高分解能に観察し撮影する装置です。高分解能観察だけでなく、低加速電圧観察や高感度な元素分析などの能力を備えているため、次世代エレクトロニクスデバイスへの応用が期待されているナノカーボンなど新炭素材料や複合材料などの材料観察・評価に活用されます。そのため、新素材の研究開発やナノマテリアルの評価などに役立ちます。
仕様
  • 高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
    二次電子分解能:0.7nm(加速電圧 15kV) 0.9nm(照射電圧 1kV)
    加速電圧:0.5~30kV
    倍率:20~2,000,000倍
    その他:反射電子検出器・透過電子検出器 他
  • エネルギー分散型X線分析装置
    有効素子面積:80m平方メートル
    検出器分解能:127eV
    測定可能元素:4Be~94Pu
    その他:定性・点・マッピング分析 他
設置場所 埼玉県産業技術総合センター本所(川口市)
お問い合わせ先 埼玉県産業技術総合センター 技術支援室 材料技術担当
電話 048-265-1369 ファックス 048-265-1334

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