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ページ番号:143190

掲載日:2025年10月9日

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X線CT三次元測定機による形状測定

大分類/中分類 測定及び検査/精密測定
試験の内容

試験内容

  • 微細なパーツや複雑な幾何学形状を持つサンプルに対し、内部を含む全体の寸法や欠陥を、非破壊・非分解かつ4.0+L/100(μm)の寸法精度(VDI/VDE準拠)で計測することが可能です。
  • 樹脂やアルミ材質等軽金属の測定を得意とするX線CT装置です。
  • 当センターのX線CT装置は3機種あり、本装置は当センターでは中間の装置(最大出力130kV)です。

仕様

【最大管電圧】130kV
【最大出力】39W※φ10mmの鉄製中実丸棒程度がX線透過の限界です
【デテクタ】245×195mm、1,920×1,536ピクセル(約3メガピクセル)、FPD(フラットパネルデテクタ)
【ロータリーテーブル】面振れ0.1μm、軸ぶれ0.2μm
【測定範囲】φ125mm×150mm

【最大試料サイズ】φ240mm×300mm(固定治具を含む)、3.5kgまで
【測定精度】4.0+L/100(μm)〈VDI/VDE準拠〉

【分解能(ボクセルサイズ)】5~94(μm)  ※サンプルサイズが大きくなると分解能は下がります

解析ソフトウェア

  • ZEISS INSPECT X-Ray

ポリゴン化(STL化)した3Dデータにより寸法測定や設計値比較等が可能です。

内部観察や簡易的な欠陥/介在物解析も可能です。

 

  • VGSTUDIO MAX

シェアの高いX線CTスキャンデータ解析ソフトウェアです。(当センター大型X線CT装置でも使用しています。)

詳細な内部観察、STLデータの出力、欠陥/介在物解析が可能です。

※オプションモジュールは欠陥/介在物解析のみです。座標計測、設計値/実測値比較、繊維配向解析等はありません。

 

いずれのソフトウェアも独自形式のデータとなりますが、フリービューアソフトウェアがあります。

3Dデータについて、本ソフトウェアではSTLデータ作成までが可能です。


STLデータをソリッド(CADで開くことができるデータ)に変換する場合は高精度3DスキャナのリバースエンジニアリングソフトウェアGeomagic Wrapを使用する必要があるため、別途費用が発生します。

主な測定試料

プラスチック製品、アルミニウム鋳物、電子部品、有機物(動植物,食品等)

キーワード

非破壊検査、X線CT、透過試験、3Dデータ、産業用、内部構造、寸法測定、形状比較、ボイド・クラック確認、3Dスキャン、リバースエンジニアリング

成績書の内容

スクリーンショット画像

※成績書とは別に、電子データ(CTビューワ、3Dデータ等)の提供が可能です。

試料持ち込み時の注意
  • 本装置の最大サンプルサイズは、最大φ125mm×H150mm程度です。ただし、上記のサイズ内でも、鉄・ステンレス・銅など密度の高い材質はX線透過距離が短いため、厚みが10mmを超えるX線CTスキャンができなくなる可能性があります。
  • 試料表面のゴミ・錆・油分等はできるだけ除去してください。
その他の注意
  • 対象物の形状によっては、治具をご用意いただくことがあります。
  • 大きさや重量、形状、材質によっては、測定できないことがあります。
  • サンプルサイズが大きい場合や厚みのある鉄・ステンレス等が含まれる場合、高出力の大型X線CT装置(定格管電圧450kV)をご利用ください。
  • 本装置よりも高分解能のデータを取得したい場合、マイクロフォーカスX線CT装置をご利用ください。
  • 詳細は仕様欄と備考欄をご確認ください。または、担当者にご相談ください。
単位 1時間
金額

6,620円(1時間を増すごとに5,310円を加える)

※1測定(スキャン)当たり2~3時間程度を要します。

※X線CTスキャン以外にデータ解析(STLデータ作成、寸法測定、欠陥解析等)をご依頼の場合、解析に要する時間も含みます。


STLデータをソリッド(CADで開くことができるデータ)に変換する場合は高精度3DスキャナのリバースエンジニアリングソフトウェアGeomagic Wrapを使用する必要があるため、別途費用が発生します。

装置外観等 X線CT三次元測定機CT_アルミ鋳物測定
測定事例
  • 電子部品(PHS)の構造

PHSのX線CTスキャン  ※クリックすると拡大表示します

 

  • 有機物内部(花・果物)※ほかに昆虫・動物・食品等も実績あり

花のX線CTスキャン みかんのX線CTスキャン

 

  • X線CTスキャンで3D化した製品の解析評価(寸法測定・カラーマップ評価・断面抽出等)

X線CTスキャンによる寸法評価例3Dカラーマップと断面抽出

 

↑X線CT三次元測定機のほうが高解像度で測定できるが、シャフト等の金属部品(白い箇所)は大型X線CT装置の方が鮮明に測定できている

 

  • その他、製品内部のボイド・クラック確認、電子部品の構造・はんだ付け不良・断線有無の確認等
備考
  • 樹脂、軽金属製品(アルミニウム製品)より密度の高い鉄・ステンレス・銅などの製品はX線透過可能距離が短いため、ノイズが生じやすくなります。詳しくは説明資料を参考にしてください。
  • 測定領域によって解像度が変わります。詳しくは説明資料を参考にしてください。
  • 基板上の半導体やはんだを確認したいという目的の場合、説明資料に記載の理由で高分解能でのスキャンデータ取得はできないことがあります。
  • 機器利用をご希望の場合、【X線CT三次元測定機】をご覧ください。
  • この機器は、平成24年度経済産業省補正予算事業により整備しました。

本試験に関する

お問合せ先

048-265-1376(生産技術・事業化支援室 機械技術担当)

※詳しい試験内容や試料、測定条件等については、ご相談・お問い合わせください。
※試料を加工、採取する前に、一度お問い合わせください。

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