X線CT三次元測定機による形状測定

試験内容

• 微細なパーツや複雑な幾何学形状を持つサンプルに対し、内部を含む全体の寸法や欠陥を、非破壊・非分解かつ4.0+L/100(μm)の寸法精度（VDI/VDE準拠）で計測することが可能です。
• 樹脂やアルミ材質等軽金属の測定を得意とするX線CT装置です。
• 当センターのX線CT装置は3機種あり、本装置は当センターでは中間の装置（最大出力130kV）です。

仕様

【最大管電圧】130kV
【最大出力】39W※φ10mmの鉄製中実丸棒程度がX線透過の限界です
【デテクタ】245×195mm、1,920×1,536ピクセル（約3メガピクセル）、FPD（フラットパネルデテクタ）
【ロータリーテーブル】面振れ0.1μm、軸ぶれ0.2μm
【測定範囲】φ125mm×150mm

【最大試料サイズ】φ240mm×300mm（固定治具を含む）、3.5kgまで
【測定精度】4.0+L/100(μm)〈VDI/VDE準拠〉

【分解能（ボクセルサイズ）】5～94(μm)  ※サンプルサイズが大きくなると分解能は下がります

• 本装置はいわゆるマイクロフォーカスX線CT装置ですが、当センター呼称マイクロフォーカスX線CT装置とは別の装置です。

解析ソフトウェア

• ZEISS INSPECT X-Ray

• VGSTUDIO MAX

いずれのソフトウェアも独自形式のデータとなりますが、フリービューアソフトウェアがあります。

3Dデータについて、本ソフトウェアではSTLデータ作成までが可能です。

STLデータをソリッド（CADで開くことができるデータ）に変換する場合は高精度3DスキャナのリバースエンジニアリングソフトウェアGeomagic Wrapを使用する必要があるため、別途費用が発生します。

• 形状測定データの解析 2,530円/30分

主な測定試料

プラスチック製品、アルミニウム鋳物、電子部品、有機物（動植物,食品等）

キーワード

非破壊検査、X線CT、透過試験、3Dデータ、産業用、内部構造、寸法測定、形状比較、ボイド・クラック確認、3Dスキャン、リバースエンジニアリング

スクリーンショット画像

※成績書とは別に、電子データ（CTビューワ、3Dデータ等）の提供が可能です。

• 本装置の最大サンプルサイズは、最大φ125mm×H150mm程度です。ただし、上記のサイズ内でも、鉄・ステンレス・銅など密度の高い材質はX線透過距離が短いため、厚みが10mmを超えるX線CTスキャンができなくなる可能性があります。
• 試料表面のゴミ・錆・油分等はできるだけ除去してください。

• 対象物の形状によっては、治具をご用意いただくことがあります。
• 大きさや重量、形状、材質によっては、測定できないことがあります。
• サンプルサイズが大きい場合や厚みのある鉄・ステンレス等が含まれる場合、高出力の大型X線CT装置（定格管電圧450kV）をご利用ください。
• 本装置よりも高分解能のデータを取得したい場合、マイクロフォーカスX線CT装置をご利用ください。
• 詳細は仕様欄と備考欄をご確認ください。または、担当者にご相談ください。

6,620円（1時間を増すごとに5,310円を加える）

※1測定（スキャン）当たり2～3時間程度を要します。

※X線CTスキャン以外にデータ解析（STLデータ作成、寸法測定、欠陥解析等）をご依頼の場合、解析に要する時間も含みます。

STLデータをソリッド（CADで開くことができるデータ）に変換する場合は高精度3DスキャナのリバースエンジニアリングソフトウェアGeomagic Wrapを使用する必要があるため、別途費用が発生します。

• 形状測定データの解析 2,530円/30分

• 電子部品(PHS)の構造

  ※クリックすると拡大表示します

• 有機物内部（花・果物）※ほかに昆虫・動物・食品等も実績あり

• X線CTスキャンで3D化した製品の解析評価（寸法測定・カラーマップ評価・断面抽出等）

• ブルパックカーのX線CT三次元測定機と大型X線CT装置での測定比較

• その他、製品内部のボイド・クラック確認、電子部品の構造・はんだ付け不良・断線有無の確認等

• 樹脂、軽金属製品（アルミニウム製品）より密度の高い鉄・ステンレス・銅などの製品はX線透過可能距離が短いため、ノイズが生じやすくなります。詳しくは説明資料を参考にしてください。
• 測定領域によって解像度が変わります。詳しくは説明資料を参考にしてください。
• 基板上の半導体やはんだを確認したいという目的の場合、説明資料に記載の理由で高分解能でのスキャンデータ取得はできないことがあります。
• 機器利用をご希望の場合、【X線CT三次元測定機】をご覧ください。
• この機器は、平成24年度経済産業省補正予算事業により整備しました。