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ページ番号:143346

掲載日:2022年4月1日

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集束イオンビーム加工観察装置(FIB-SEM)

機器番号 505
機器分類 表面観察機器
メーカー名 日本電子株式会社
型番等 JIB-4600F
装置概要 細く絞ったGaイオンを試料に照射して任意微小部の断面加工と高分解能SEM観察を行う装置。
主な仕様 倍率:×30~×300,000(FIB)、×20~×1,000,000(SEM)
ステージ範囲:X:50mm,Y:50mm,Z:1.5~41mm
T:-5°~70°
研修レベル

2

有料の操作研修の受講が必要です。詳しくは表下「操作研修概要」をご覧ください

使用料(1時間当たり) 5,920円
装置写真 fib

 

操作研修概要

全日コースの研修受講が必要です。

研修費用:5,000円/1人

制限事項:受講人数は1社2名以内とします。

詳細は、下記担当までお問い合わせください。

問合せ先:048-265-1369(材料技術担当)

備考:操作経験がある方

※指導員の指導を受けて機器を利用する場合は、使用料の他に指導料が1時間あたり2,500円かかります。
※一部の機器は、事前に研修を受ける必要があります。詳しくは、研修の受講方法をご覧ください。
※機器の利用時に必要となる一部の消耗品については、使用量に応じて実費精算できます。詳しくは、消耗品精算をご覧ください。

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