X線CT三次元測定機（計測用X線CT装置）

• 微細なパーツや複雑な幾何学形状を持つサンプルに対し、内部を含む全体の寸法や欠陥を、非破壊・非分解かつ4.0+L/100(μm)の寸法精度（VDI/VDE準拠）で計測することが可能です。
• 樹脂やアルミ材質等軽金属の測定を得意とするX線CT装置です。
• 当センターのX線CT装置のラインナップは次のとおりで、本装置は当センター3機種のうち中間の装置です。

【最大管電圧】130kV
【最大出力】39W  ※φ10mmの鉄製中実丸棒程度がX線透過の限界です
【検出器】245×195mm、1,920×1,536ピクセル（約3メガピクセル）、FPD（フラットパネルデテクタ）
【ロータリーテーブル】面振れ0.1μm、軸ぶれ0.2μm
【最大測定範囲】φ125mm×150mm

【最大試料サイズ】φ240mm×300mm（固定治具を含む）、3.5kgまで
【測定精度】4.0+L/100(μm)〈VDI/VDE準拠〉

【分解能（ボクセルサイズ）】5～94(μm)  ※サンプルサイズが大きくなると分解能は下がります

• 本装置はいわゆるマイクロフォーカスX線CT装置ですが、当センター呼称マイクロフォーカスX線CT装置とは別の装置です。
• 当センター呼称マイクロフォーカスX線CT装置は、最高で本装置の10分の1程度のボクセルサイズまで分解能を上げることができます。（ただし、サンプルサイズは綿棒の先くらいとなります。）

• ZEISS INSPECT X-Ray

• VGSTUDIO MAX

いずれのソフトウェアも独自形式のデータとなりますが、フリービューアソフトウェアがあります。

3Dデータについて、本ソフトウェアではSTLデータ作成までが可能です。

STLデータをソリッド（CADで開くことができるデータ）に変換する場合、高精度3DスキャナのリバースエンジニアリングソフトウェアGeomagic Wrapを使用する必要があります。

1 

研修を受講する必要はありません。利用方法の詳細は担当にご相談ください。

• 初回利用の際、最低2～3時間の指導員料が必要です（1時間当たり2,500円）。

• 電子部品(PHS)の構造

※クリックすると拡大表示します

• 有機物内部（花・果物）※ほかに昆虫・動物・食品等も実績あり

• X線CTスキャンで3D化した製品の解析評価（寸法測定・カラーマップ評価・断面抽出等）

• その他、製品内部のボイド・クラック確認、電子部品の構造・はんだ付け不良・断線有無の確認等

• 樹脂や軽金属製品（アルミニウム等）より密度の高い鉄・ステンレス・銅などの製品はX線透過可能距離が短いため、ノイズが生じやすくなります。詳しくは説明資料を参考にしてください。
• 測定領域によって解像度が変わります。詳しくは説明資料を参考にしてください。
• 基板上の半導体やはんだを確認したいという目的の場合、説明資料に記載の理由で高分解能でのスキャンデータ取得はできないことがあります。
• 装置がある部屋は20℃一定の恒温室なので、夏場は長袖の羽織るものをお持ちいただくことをおすすめします。
• 依頼試験をご希望の場合、【X線CT三次元測定機による形状測定】をご覧ください。
• この機器は、平成24年度経済産業省補正予算事業により整備しました。