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掲載日:2020年4月1日

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非接触微細形状測定機

【2020年3月】機器が更新されました。ぜひご活用ください!

機器番号 506
機器分類 精密測定機器
メーカー名 株式会社日立ハイテクサイエンス
型番等 VS1800
装置概要

光の干渉を利用して表面形状を計測する装置です。数ミリメートルの広い観察範囲(最大4.4 mm角)を数秒で計測可能でありながら、高い垂直分解能0.1 nmを有します。また、透明多層膜の膜厚計測も可能であるという特徴を併せ持った装置です。

主な仕様 【垂直分解能(Sq分解能)】0.1 nm(Waveモード)
【傾斜面測定角度】 45°以上(HiSlopeHRモード)
【対物レンズ】2.5倍,5倍,10倍,20倍,50倍
【測定視野】225 μm角~4.4 mm角(単視野) 画像連結可
研修レベル

2

有料の操作研修の受講が必要です。詳しくは表下「操作研修概要」をご覧ください

使用料(1時間当たり) 1,600円
装置写真 非接触微細形状測定機

 

  操作研修概要

研修日程:随時実施中

募集人数:3人以内

受講料金:4,000円

問合せ先:048-265-1376(機械技術担当)

備考:研修日程は問い合わせ時から1か月程度先の日程になります。

※指導員の指導を受けて機器を利用する場合は、使用料の他に指導料が1時間あたり2,500円かかります。
※一部の機器は、事前に研修を受ける必要があります。詳しくは、研修の受講方法をご覧ください。
※機器の利用時に必要となる一部の消耗品については、使用量に応じて実費精算できます。詳しくは、消耗品精算をご覧ください。

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