超磁歪素子の伸縮制御装置

埼玉県産業技術総合センターでは、超磁歪素子を利用した「超高分解能 手動位置決めステージ」を開発しました。

従来からの送りネジ式手動位置決めステージの分解能は1μm程ですが、本手動位置決めステージは、1000倍にあたる1nmの分解能を実現しています。

適用用途

• レーザーの光軸調整（機器組込み）
• 光学顕微鏡
• マスクステージ用の微動機構（半導体露光装置）
• 光学機器の光軸合せ
• 各種測定機の微小移動用

使用特許

特許第4102655号 超磁歪素子の伸縮制御装置
権利者：埼玉県

発明概要

超磁歪素子は、外部磁界の変化により伸縮する特性があります。

本特許は、その伸縮制御をマイクロメータヘッドに取り付けた永久磁石により行います。

また、超磁歪素子の伸縮量が得られる自由端に鉄などの強磁性体を設置することで、より大きな変位量を取り出すことに成功しています。

本技術は、電流を必要とするコイルではなく、永久磁石により超磁歪素子の伸縮量を制御していますので、手動ハンドルを固定しておけば、ほぼ永久的に位置を保持することができます。

さらに超磁歪素子は、1000Nを超える発生応力がありますので、あらゆる機器のアライメント調整に打って付けです。

内容についての問い合わせ先

埼玉県産業技術総合センター
技術支援室 電気・電子技術担当
電話 048-265-1421