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掲載日:2019年10月1日

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イオンスパッタリング装置

機器番号 29
機器分類 表面観察機器
メーカー名 株式会社日立ハイテクノロジーズ
型番等 E-1030
装置概要 導電性のない試料を電子顕微鏡やEPMAで分析するための前処理装置。
主な仕様

最大試料径:50mm

蒸着ターゲット:Au、Au-Pd、Pt、Pt-Pd

研修レベル

1

研修を受講する必要はありません。簡単な説明を受ければ、利用できます

使用料(1時間当たり) 110円
装置写真 機器の写真

※指導員の指導を受けて機器を利用する場合は、使用料の他に指導料が1時間あたり2,500円かかります。
※一部の機器は、事前に研修を受ける必要があります。詳しくは、研修の受講方法をご覧ください。
※機器の利用時に必要となる一部の消耗品については、使用量に応じて実費精算できます。詳しくは、消耗品精算をご覧ください。

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