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性であり正確な変位検出機能を持つ微小変位アクチュエータを開発した。 そして、このアクチュエータをテストスタンドに取り付け、用疲労耐久試験機を試作した。 MEMS キーワード：MEMS，疲労試験，超磁歪素子 １はじめに半導体デバイスプロ

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行った。 特にこの中に含まれるフェルラ酸に注目した。 小麦ふすまの繊維はセルロース、ヘミセルロース、リグニン、タンパク質などから構成されている。 主にフェルラ酸は、図１のようにヘミセルロースであるアラビノキシランにエステ

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子，山崎貴子，堀田康雄，村山篤子：3 大豆の低温スチーミング調理における成分およ 8び食味の変動について大豆たん白質研究，，，3 2005 44 () )山田晶子，杉山智美，渋川祥子：スチームコ4 ンベクションオーブンの加熱特性，日本家政学会 4(2002)331誌，，

https://www.pref.saitama.lg.jp/documents/143019/212a_2.pdf種別：pdf サイズ：419.865KB

ステルフィルム上に、シアノエチルセルロースに蛍光体を分散させた蛍光層と、同じくシアノエチルセルロースにチタン酸バリウムを分散させた誘電体層を順次積層し、 ITOフィルムで挟み込んでELパネルを作製した。 これを図1に示

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使用した市販品の材料は、今回、他の試験でも比較用に使用したそばがらを含め５種類（そばがら、フェザー、低反発ウレタンチップ、パイプ、 ポリエステルわた）とした。 2.6.2試験方法 。 。 室温は℃に調整した被験者は人である23 58 シリコンゴム

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の牛乳について、その構成成分の濃度を調べるため成分の分離を行った。 牛乳に含まれる三大栄養素とされているタンパク質（カゼイン）、糖質（ラクトース）、脂質（乳脂肪）のうち主に水溶性の糖質（ラクトース）についてその含有量を調べた。 2.

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デジタル回路のノイズ水晶発信器との間の信号線（以下「水晶ＩIC Ｃ間の信号線」という）の長さがの基板の5mm 、。 パータンを図３にノイズ測定結果を図４に示すこの基板はノイズ対策は特に行っていない。 図５ の電波暗室に何も置かなかっ

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認められる（図６） 図４フィルタ補正後のアイパターン歪みの原因について検討したところ、抵抗中の寄生インダクタンスによるインピーダンスの不整合によるものと考えられるので、リード線つきの抵抗をチップ抵抗におきかえ、配

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うものであることがわかった。 カーボンフェルト表面は放電後もグラファイト構造が維持され、清浄であった。 メタンの改質については、この放電によりメタンが消失し、それに伴い水素が生成した。 メタン以外の含水素化合物からも水

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超微細加工に関する研究（２）マイクロ電解研磨及び加工 －安全な電解液によるチタンの電解エッチング加工－ ***出口貴久外舘公生 Study on Microfabrication (2)Microelectropolishing and Micromachining －－Electrolytic Etching of Titanium by Safety Electlyte DEGUCHI Takahisa * TODATE Kousei**， 抄録従来、チタンのエッチング加工においてはフッ酸等の劇毒物

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